|
廣州銘鴻儀器儀表有限公司
| 聯(lián)系人:陳經(jīng)理
先生 (經(jīng)理) |
| 電 話:020-29807877 |
手 機(jī):19126505029  |
 |
|
 |
|
| MEMF4015微型口罩呼吸機(jī)氣體質(zhì)量流量計(jì)廣東廣州 |
本產(chǎn)品采用具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MEMS氣體質(zhì)量流量傳感器技術(shù),能根據(jù)用戶(hù)的需求提供精確的在線流量計(jì)量。傳感器系采用獨(dú)特的CMOS兼容MEMS工藝制造,保證其具有極高的可靠性。傳感器可測(cè)量低至0.01m/sec及高達(dá)65m/sec。針對(duì)不同的應(yīng)用,傳感器可用于測(cè)量氣體的質(zhì)量流量、體積流量及 介質(zhì)流速。專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的電路具有放大及微小信號(hào)處理功能以保證高精度輸出。
不同于其它MEMS傳感技術(shù),單個(gè)傳感芯片上集成多個(gè)傳感器。芯片表面采用具有高導(dǎo)熱性能的陶瓷材料鈍化處理,在保證傳感器的靈敏度的同時(shí)避免傳感器與氣體介質(zhì)直接接觸以提高其可靠性。當(dāng)沒(méi)有氣體介質(zhì)流過(guò)MEMS傳感器芯片時(shí),傳感器周?chē)3址(wěn)定的溫度場(chǎng)(溫度分布)。當(dāng)氣體介質(zhì)流過(guò)傳感器芯片時(shí),溫度場(chǎng)因?yàn)榱黧w介質(zhì)帶走熱量導(dǎo)致局部溫度重分布。這種局部溫度場(chǎng)變化取決于流體介質(zhì)的質(zhì)量及流速。集成在芯片上的傳感器對(duì)此溫度分布進(jìn)行測(cè)量,通過(guò)校準(zhǔn),專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的信號(hào)處理電路和智能控制軟件可精確測(cè)量實(shí)際的介質(zhì)質(zhì)量流速。介質(zhì)質(zhì)量流速則可換算成體積流速及累計(jì)介質(zhì)體積流量。
二、流量芯片測(cè)量原理
MEMS氣體質(zhì)量流量計(jì)是基于熱擴(kuò)散原理的氣體流量測(cè)量?jī)x表,它無(wú)須溫壓補(bǔ)償,直接測(cè)出流體的質(zhì)量流量。它的突出特點(diǎn)是:可以直接進(jìn)行貿(mào)易結(jié)算;沒(méi)有活動(dòng)部件;壓力損失。涣砍瘫葘;精度高;可靠性高;安裝簡(jiǎn)單;操作方便。
金氏定律即熱擴(kuò)散原理。金氏定律:流過(guò)熱源的流體分子多少與熱量散失的多少成正比。二是恒溫差法?捎帽磉_(dá)式來(lái)具體說(shuō)明:
P/ △ T=A+B(Q)m
其中P表示消耗功率;△T表示兩個(gè)傳感器之間的溫度差;
Q表示質(zhì)量流量;m表示指數(shù)系數(shù),
A,B是與氣體物理性質(zhì)有關(guān)的常數(shù)。
三、產(chǎn)品應(yīng)用
● 科教實(shí)驗(yàn)室
● 醫(yī)療單位
● 電子單位
● 各種高純氣體的測(cè)量
● 各種相關(guān)產(chǎn)品配套使用
● 供氣計(jì)量核算
● 相關(guān)行業(yè)工廠使用
四、技術(shù)參數(shù)
量程比 100:1
精度 1.5級(jí)
重復(fù)性 ±0 .75%
響應(yīng)時(shí)間 <1秒
工作電源 12~24VDC
輸出方式 485
*大流量壓損 100Pa
*大工作壓力 1.0MPa
工作溫度 -10~+55℃
儲(chǔ)存溫度 -20~+65℃
工作濕度 10~95%RH(無(wú)結(jié)露,無(wú)凝露)
過(guò)程連接 卡套式緊固件
適用介質(zhì) 不含水分的氣體
凡是用于空氣、天然氣和管道 |
 |
| |
| 廣州銘鴻儀器儀表有限公司 |
|
| 電 話: |
020-29807877 |
| 傳 真: |
136-40842858 |
| 移動(dòng)電話: |
19126505029  |
| 公司地址: |
中國(guó)廣東廣州市廣州市番禺區(qū)石基鎮(zhèn)石基路十六巷12號(hào)minghung19 |
| 郵 編: |
550466 |
| 公司主頁(yè): |
http://minghung19.qy6.com.cn( 加入收藏) |
|
|
|
 |
|
|